研究室簡介

傳感技術國家聯合重點實驗室經國家計委批準于1987年成立, 1989年通過國家驗收,是我國傳感技術領域最早建立的國家重點實驗室。實驗室在微納制造技術和新型傳...

研究方向
  • 微納傳感器設計與制造技術

    研究各種物理傳感器(包括力學量、運動量、聲學、熱、電磁、光學、以及光纖傳感器)研究各種氣體傳感器、化學傳感器和生物傳感器

  • MEMS/MEMS技術

    研究體硅微機械加工、表面微機械加工、準LIGA加工技術和各種非硅微加工技術 研究先進封裝工藝和納機械結構制造技術

  • 敏感效應、機制與材料研究

    研究各種先進傳感器用納米敏感材料技術和新敏感效應 研究納米敏感結構的尺度效應,利用超靈敏傳感器研究界面分子熱力學與動力學機制

  • 傳感微系統芯片技術

    基于微納米集成技術研究各種微納流控芯片、生化檢測芯片及預處理芯片,研究傳感微系統技術和陣列多傳感器的聯合檢測技術

科研裝備